Издаётся с 1992 года
ISSN 0869-5326

ГАЛЬВАНОТЕХНИКА И ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ

Официальный сайт журнала

www.galvanotehnika.info

   О журнале   Подписка   Содержание   Практические Материалы   Рекламодателям   

 
Гальванотехника и обработка поверхности №1 за 2018


Содержание журналов:

 

Выпуск № 1 за 2018 год


     Российское общество гальванотехников и специалистов в области обработки поверхности

Содержание журнала №4 за 2015 год

Информация о статье:

Раздел/SectionЭлектроосаждение металлов и сплавовElectroplating of metals and alloys
Заглавие/Title

Электроосаждение сплава Ni-Fe для производства интегральных микросхем

Electrodeposition of Ni-Fe Alloy for the Production of Integrated Microcircuits

Авторы/AuthorsТихонов Р.Д.Tikhonov R.D.
Страницы/Pages13-19
Ключевые слова
Keywords
пермаллой, концентраторы магнитного поля, электрохимическое осаждение, хлоридный электролит, permalloy, concentrators of magnetic field, electrodeposition, chloride-based electrolyte
Аннотация
Description
Усиление магнитной индукции представляет большой интерес для разработчиков магниточувствительных интегральных микросистем. Для получения пленок, близких по составу к Ni81Fe19, в качестве концентраторов магнитного поля разработаны условия, позволившие снижать разброс технологических параметров для получения оптимальных магнитных свойств. Предложен хлоридный электролит, который обеспечивает электроосаждение пермаллоя при температуре 60-70 °С и при перемешивании. Получены магнитные свойства пленок, соответствующие массивным образцам.The process of Ni-Fe alloys electrodeposited from sulfate-chloride and chloride-based baths was studied. Desirable composition of the alloy close to Ni81Fe19 was deposited from both types of baths at 60-70°C, pH 1,5-1,9 and solution agitation (Figs. 2-4). Appearance (Fig.5) and magnetic characteristics of deposited layers are given (Figs. 1, 6).
Текст/Texthttp://elibrary.ru/item.asp?id=25225253
Ссылка на
Link for citation

 

Журнал «Гальванотехника и обработка поверхности», © 2008–2018