Содержание журнала №4 за 2015 год
Информация о статье:
| Раздел/Section | Электроосаждение металлов и сплавов | Electroplating of metals and alloys |
| Страницы/Pages | 13-19 | |
| Заглавие/Title | Электроосаждение сплава Ni-Fe для производства интегральных микросхем | Electrodeposition of Ni-Fe Alloy for the Production of Integrated Microcircuits |
| Авторы/Authors | Тихонов Р.Д. | Tikhonov R.D. |
| Ключевые слова Keywords | пермаллой, концентраторы магнитного поля, электрохимическое осаждение, хлоридный электролит, permalloy, concentrators of magnetic field, electrodeposition, chloride-based electrolyte | |
| Аннотация Description | Усиление магнитной индукции представляет большой интерес для разработчиков магниточувствительных интегральных микросистем. Для получения пленок, близких по составу к Ni81Fe19, в качестве концентраторов магнитного поля разработаны условия, позволившие снижать разброс технологических параметров для получения оптимальных магнитных свойств. Предложен хлоридный электролит, который обеспечивает электроосаждение пермаллоя при температуре 60-70 °С и при перемешивании. Получены магнитные свойства пленок, соответствующие массивным образцам. | The process of Ni-Fe alloys electrodeposited from sulfate-chloride and chloride-based baths was studied. Desirable composition of the alloy close to Ni81Fe19 was deposited from both types of baths at 60-70°C, pH 1,5-1,9 and solution agitation (Figs. 2-4). Appearance (Fig.5) and magnetic characteristics of deposited layers are given (Figs. 1, 6). |
| Текст/Text | http://elibrary.ru/item.asp?id=25225253 | |